Sondes optomécaniques : vers l'AFM aux fréquences GHz - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2024

Sondes optomécaniques : vers l'AFM aux fréquences GHz

Suyambulingham Subramanian
  • Fonction : Auteur
Équipe Microsystèmes électromécaniques
Clément Le Fur
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques
Lucien Schwab
  • Fonction : Auteur
Ilan Shlesinger
  • Fonction : Auteur
Pierre Allain
  • Fonction : Auteur
Chérif Bélacel
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques
Marc Gély
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Nicolas Mauran
Service Instrumentation Conception Caractérisation
CV
Laurent Mazenq
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Felix Rico
  • Fonction : Auteur
Aix-Marseille University, INSERM, CNRS, DyNaMo
Ignacio Casuso
  • Fonction : Auteur
Aix-Marseille University, INSERM, CNRS, DyNaMo
Sébastien Hentz
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Guillaume Jourdan
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Ivan Favero
Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques
Bernard Legrand
  • Fonction : Auteur
Équipe Microsystèmes électromécaniques

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique Optique / photonique
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Soumis le : lundi 29 avril 2024-14:19:49

Dernière modification le : jeudi 23 mai 2024-14:12:19

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Dates et versions

hal-04562805 , version 1 (29-04-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04562805 , version 1

Citer

Suyambulingham Subramanian, Clément Le Fur, Lucien Schwab, Ilan Shlesinger, Pierre Allain, et al.. Sondes optomécaniques : vers l'AFM aux fréquences GHz. Forum de microscopie à sondes locales, Apr 2024, Lyon, France. ⟨hal-04562805⟩

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